石英镀层管(抗裂)

石英镀层管(抗裂)

产品说明

  • 通过微米/纳米功能型原料复合技术,有效缓解PVD/CVD等沉积物破坏的问题
  • 适用于光伏、半导体等设备
  • 其涂层通过调整可在氧化铝、碳化硅、氧化锆等多种陶瓷脆性材料上形成相似保护

产品说明

  • 通过微米/纳米功能型原料复合技术,有效缓解PVD/CVD等沉积物破坏的问题
  • 适用于光伏、半导体等设备
  • 其涂层通过调整可在氧化铝、碳化硅、氧化锆等多种陶瓷脆性材料上形成相似保护

产品优势

  • 1000℃热冲击500run,不开裂
  • 有效阻挡沉积物,缓释沉积物对石英的破坏
  • 提升LPCVD石英件200%-300%寿命

产品优势

  • 1000℃热冲击500run,不开裂
  • 有效阻挡沉积物,缓释沉积物对石英的破坏
  • 提升LPCVD石英件200%-300%寿命

规格参数

耐温性 800℃~1200℃
耐酸碱腐蚀 具备
使用寿命 >9 months

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