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石英镀层管(抗裂)
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产品说明
通过微米/纳米功能型原料复合技术,有效缓解PVD/CVD等沉积物破坏的问题
适用于光伏、半导体等设备
其涂层通过调整可在氧化铝、碳化硅、氧化锆等多种陶瓷脆性材料上形成相似保护
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通过微米/纳米功能型原料复合技术,有效缓解PVD/CVD等沉积物破坏的问题
适用于光伏、半导体等设备
其涂层通过调整可在氧化铝、碳化硅、氧化锆等多种陶瓷脆性材料上形成相似保护
产品优势
1000℃热冲击500run,不开裂
有效阻挡沉积物,缓释沉积物对石英的破坏
提升LPCVD石英件200%-300%寿命
产品优势
1000℃热冲击500run,不开裂
有效阻挡沉积物,缓释沉积物对石英的破坏
提升LPCVD石英件200%-300%寿命
规格参数
耐温性
800℃~1200℃
耐酸碱腐蚀
具备
使用寿命
>9 months
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