石英通管

石英通管

产品说明

拉普拉斯自主研发B、C、D系列石英特种涂层,主要应用于LPCVD、硼扩散等设备的核心石英器件表面,能有效隔绝工艺对石英器件的侵蚀等问题,并延长使用寿命,从而达到降低器件成本、提高生产效率的目的。同时具有涂覆和固化工艺简单的特点。根据不同使用温度、使用环境、器件类型开发了对应的系列产品。

产品说明

拉普拉斯自主研发B、C、D系列石英特种涂层,主要应用于LPCVD、硼扩散等设备的核心石英器件表面,能有效隔绝工艺对石英器件的侵蚀等问题,并延长使用寿命,从而达到降低器件成本、提高生产效率的目的。同时具有涂覆和固化工艺简单的特点。根据不同使用温度、使用环境、器件类型开发了对应的系列产品。

功能说明

B 系列表面保护涂层可以在 LPCVD 工艺过程中有效保护石英管材,减缓多晶硅对石英的附着、渗入和破坏,从而延长石英管材使用寿命,长期使用石英器件强度下降幅度由 70% 降到 40% 以下。

C 系列涂层可以增强石英材料在常温至 1050℃℃温度段的机械强度,使其在使用过程中不易变形断裂从而延长石英管材使用寿命。

D 系列表面防脱落涂层在 LPCVD 工艺中可牢固吸附多晶硅镀层,并延缓镀层脱落问题,从而延长石英管材使用时间。

功能说明

B 系列表面保护涂层可以在 LPCVD 工艺过程中有效保护石英管材,减缓多晶硅对石英的附着、渗入和破坏,从而延长石英管材使用寿命,长期使用石英器件强度下降幅度由 70% 降到 40% 以下。

C 系列涂层可以增强石英材料在常温至 1050℃℃温度段的机械强度,使其在使用过程中不易变形断裂从而延长石英管材使用寿命。

D 系列表面防脱落涂层在 LPCVD 工艺中可牢固吸附多晶硅镀层,并延缓镀层脱落问题,从而延长石英管材使用时间。

搜索