碳化硅小舟

产品说明

产品材料：碳化硅
产品结构形式：一体烧结成型
产品用途：应用于光伏硅片在线扩散/退火/CVD等自动上下料机中，其用途是承载硅片

产品说明

产品材料：碳化硅
产品结构形式：一体烧结成型
产品用途：应用于光伏硅片在线扩散/退火/CVD等自动上下料机中，其用途是承载硅片

产品优势

极佳的尺寸精度和一致性
已批量应用于LPCVD、氧化、退火工艺
极佳的耐强酸强碱性能
极高的表面纯净度和致密度
灵活的尺寸定制性
满载使用寿命：＞36 months
极低的金属杂质含量

产品优势

极佳的尺寸精度和一致性
已批量应用于LPCVD、氧化、退火工艺
极佳的耐强酸强碱性能
极高的表面纯净度和致密度
灵活的尺寸定制性
满载使用寿命：＞36 months
极低的金属杂质含量

规格参数

长宽高	320mm185mm293.9mm（可定制）
酸碱耐受性	＞100 run
耐热温度	1200℃
硅片承载规格/数量	182mm/102齿（可定制）
Sic含量	≥87%
Fe含量	＜0.02%
使用寿命	＞36 months